ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು

ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದ ಪ್ರಗತಿ ಮತ್ತು ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯೊಂದಿಗೆ, ಆಪರೇಟಿಂಗ್ ಪ್ರವಾಹ, ಕೆಲಸದ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಸಾಧನಗಳಲ್ಲಿನ ಆವರ್ತನವು ಕ್ರಮೇಣ ಹೆಚ್ಚುತ್ತಿದೆ. ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆಯನ್ನು ಪೂರೈಸುವ ಸಲುವಾಗಿ, ಚಿಪ್ ವಾಹಕಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಮುಂದಿಡಲಾಗಿದೆ. ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಈ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಲ್ಲಿ ವ್ಯಾಪಕವಾಗಿ ಬಳಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಏಕೆಂದರೆ ಅವುಗಳ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಮೈಕ್ರೊವೇವ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ವಿಶ್ವಾಸಾರ್ಹತೆ.

ಪ್ರಸ್ತುತ, ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳಲ್ಲಿ ಬಳಸಲಾಗುವ ಮುಖ್ಯ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳು: ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ಅಲ್ 2 ಒ 3), ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (ಎಎಲ್ಎನ್), ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (ಎಸ್‌ಐ 3 ಎನ್ 4), ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಎಸ್‌ಐಸಿ) ಮತ್ತು ಬೆರಿಲಿಯಮ್ ಆಕ್ಸೈಡ್ (ಬಿಇಒ).

99% 310 6.4 10 ಪುಡಿ ಹೆಚ್ಚು ವಿಷಕಾರಿಯಾಗಿದೆ,

ಮಾ ಟೆರಿಯಲ್	ಶುದ್ಧತೆ	ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ .	_	_ _	_ _ _
_	_	_	_	_	_ ಹೆಚ್ಚು ವಿಶಾಲವಾದ
ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳು	99%	150	8.9	15	ಹೆಚ್ಚಿನ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ, ಆದರೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ವೆಚ್ಚದ
ಬಿಯೋ
SI3N4	99%	106	9.4	100	ಅನ್ನು
ಬಳಸಲು	ಮಿತಿಗೊಳಿಸಿ	ಒಟ್ಟಾರೆ	ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆ	SIC 99
%	270	40	0.7	ಕಡಿಮೆ	-ಆವರ್ತನದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್‌ಗಳಿಗೆ ಮಾತ್ರ ಹೊಂದಿಕೊಳ್ಳುತ್ತದೆ

ತಲಾಧಾರಗಳಿಗಾಗಿ ಈ 5 ಸುಧಾರಿತ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಸಂಕ್ಷಿಪ್ತ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತೆ ನೋಡೋಣ:

1. ಅಲ್ಯೂಮಿನಾ (ಅಲ್ 2 ಒ 3)

AL2O3 ಏಕರೂಪದ ಪಾಲಿಕ್ರಿಸ್ಟಲ್‌ಗಳು 10 ಕ್ಕೂ ಹೆಚ್ಚು ವಿಧಗಳನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಮತ್ತು ಮುಖ್ಯ ಸ್ಫಟಿಕದ ಪ್ರಕಾರಗಳು ಹೀಗಿವೆ: α-AL2O3, β-AL2O3, γ-AL2O3 ಮತ್ತು ZTA-AL2O3. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, α-AL2O3 ಕಡಿಮೆ ಚಟುವಟಿಕೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ಇದು ನಾಲ್ಕು ಮುಖ್ಯ ಸ್ಫಟಿಕ ರೂಪಗಳಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚು ಸ್ಥಿರವಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು ಅದರ ಯುನಿಟ್ ಕೋಶವು ಪಾಯಿಂಟೆಡ್ ರೋಂಬೋಹೆಡ್ರನ್ ಆಗಿದೆ, ಇದು ಷಡ್ಭುಜೀಯ ಸ್ಫಟಿಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಸೇರಿದೆ. α-AL2O3 ರಚನೆಯು ಬಿಗಿಯಾಗಿರುತ್ತದೆ, ಕೊರಂಡಮ್ ರಚನೆ, ಎಲ್ಲಾ ತಾಪಮಾನಗಳಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರಬಹುದು; ತಾಪಮಾನವು 1000 ~ 1600 ° C ತಲುಪಿದಾಗ, ಇತರ ರೂಪಾಂತರಗಳು ಬದಲಾಯಿಸಲಾಗದಂತೆ α-AL2O3 ಆಗಿ ರೂಪಾಂತರಗೊಳ್ಳುತ್ತವೆ.

ಚಿತ್ರ 1: ಎಸ್‌ಇಎಂ ಅಡಿಯಲ್ಲಿ ಅಲ್ 2 ಒ 3 ನ ಸ್ಫಟಿಕ ಮೈಕ್ರೊಸ್ಟ್ರೂಚರ್

AL2O3 ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ಹೆಚ್ಚಳ ಮತ್ತು ಅನುಗುಣವಾದ ಗಾಜಿನ ಹಂತದ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿಯ ಇಳಿಕೆಯೊಂದಿಗೆ, AL2O3 ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ವೇಗವಾಗಿ ಏರುತ್ತದೆ, ಮತ್ತು AL2O3 ಸಾಮೂಹಿಕ ಭಾಗವು 99%ತಲುಪಿದಾಗ, ಸಾಮೂಹಿಕ ಭಾಗವಾಗಿದ್ದಾಗ ಹೋಲಿಸಿದರೆ ಅದರ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ದ್ವಿಗುಣಗೊಳ್ಳುತ್ತದೆ. 90%.

AL2O3 ನ ಸಾಮೂಹಿಕ ಭಾಗವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದರಿಂದ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಒಟ್ಟಾರೆ ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಬಹುದಾದರೂ, ಇದು ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಸಿಂಟರ್ರಿಂಗ್ ತಾಪಮಾನವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಪರೋಕ್ಷವಾಗಿ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಳಕ್ಕೆ ಕಾರಣವಾಗುತ್ತದೆ.

2. ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್ (ಎಎಲ್ಎನ್)

ALN ಒಂದು ರೀತಿಯ ಗುಂಪು ⅲ-v ಸಂಯುಕ್ತವಾಗಿದ್ದು, ವರ್ಟ್‌ಜೈಟ್ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ. ಇದರ ಯುನಿಟ್ ಕೋಶವು ಎಎಲ್ಎನ್ 4 ಟೆಟ್ರಾಹೆಡ್ರನ್, ಇದು ಷಡ್ಭುಜೀಯ ಸ್ಫಟಿಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗೆ ಸೇರಿದೆ ಮತ್ತು ಬಲವಾದ ಕೋವೆಲನ್ಸಿಯ ಬಂಧವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಸೈದ್ಧಾಂತಿಕವಾಗಿ, ಅದರ ಸ್ಫಟಿಕ ಸಾಂದ್ರತೆಯು 3.2611 ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ 3 ಆಗಿದೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ಇದು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಶುದ್ಧ ಅಲ್ನ್ ಸ್ಫಟಿಕವು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ 320W/(m · k) ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಬಿಸಿ-ಒತ್ತಿದ ಬೆಂಕಿಯ ಆಲ್ನ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ತಲಾಧಾರವು 150W/(M · K) ಅನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಇದು AL2O3 ಗಿಂತ 5 ಪಟ್ಟು ಹೆಚ್ಚು. ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು 3.8 × 10-6 ~ 4.4 × 10-6/is ಆಗಿದೆ, ಇದು ಎಸ್‌ಐ, ಎಸ್‌ಐಸಿ ಮತ್ತು ಜಿಎಎಗಳಂತಹ ಅರೆವಾಹಕ ಚಿಪ್ ವಸ್ತುಗಳ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕದೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ.

ಚಿತ್ರ 2: ಅಲ್ಯೂಮಿನಿಯಂ ನೈಟ್ರೈಡ್‌ನ ಪುಡಿ

ALN ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ AL2O3 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಇದು ಕ್ರಮೇಣ ಉನ್ನತ-ಶಕ್ತಿಯ ವಿದ್ಯುತ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ಸ್‌ನಲ್ಲಿ AL2O3 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಾಖ ವಹನದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಇತರ ಸಾಧನಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ ಮತ್ತು ವಿಶಾಲವಾದ ಅಪ್ಲಿಕೇಶನ್ ನಿರೀಕ್ಷೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಕಡಿಮೆ ದ್ವಿತೀಯಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಹೊರಸೂಸುವಿಕೆ ಗುಣಾಂಕದಿಂದಾಗಿ ಪವರ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳ ಶಕ್ತಿ ವಿತರಣಾ ವಿಂಡೋಗೆ ALN ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಆದ್ಯತೆಯ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

3. ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ (SI3N4)

Si3n4 ಎಂಬುದು ಮೂರು ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆಗಳೊಂದಿಗೆ ಕೋವೆಲೆಂಟ್ಲಿ ಬಂಧಿತ ಸಂಯುಕ್ತವಾಗಿದೆ: α-si3n4, β-si3n4, ಮತ್ತು γ-si3n4. ಅವುಗಳಲ್ಲಿ, α-SI3N4 ಮತ್ತು β-SI3N4 ಷಡ್ಭುಜೀಯ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ಅತ್ಯಂತ ಸಾಮಾನ್ಯವಾದ ಸ್ಫಟಿಕ ರೂಪಗಳಾಗಿವೆ. ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ SI3N4 ನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು 400W/(M · K) ಅನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಅದರ ಫೋನಾನ್ ಶಾಖ ವರ್ಗಾವಣೆಯಿಂದಾಗಿ, ನಿಜವಾದ ಲ್ಯಾಟಿಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಖಾಲಿ ಮತ್ತು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವಿಕೆಯಂತಹ ಲ್ಯಾಟಿಸ್ ದೋಷಗಳಿವೆ, ಮತ್ತು ಕಲ್ಮಶಗಳು ಫೋನಾನ್ ಚದುರುವಿಕೆಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು ಕಾರಣವಾಗುತ್ತವೆ, ಆದ್ದರಿಂದ ನಿಜವಾದ ಕೆಲಸದಿಂದ ಕೂಡಿದ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ಕೇವಲ 20W/(m · k) . ಅನುಪಾತ ಮತ್ತು ಸಿಂಟರ್ರಿಂಗ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯನ್ನು ಉತ್ತಮಗೊಳಿಸುವ ಮೂಲಕ, ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು 106W/(M · K) ತಲುಪಿದೆ. SI3N4 ನ ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣಾ ಗುಣಾಂಕವು ಸುಮಾರು 3.0 × 10-6/ C ಆಗಿದೆ, ಇದು Si, Sic ಮತ್ತು Gaas ವಸ್ತುಗಳೊಂದಿಗೆ ಹೊಂದಿಕೆಯಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು SI3N4 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಅನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ಸಾಧನಗಳಿಗೆ ಆಕರ್ಷಕ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರದ ವಸ್ತುವನ್ನಾಗಿ ಮಾಡುತ್ತದೆ.

ಚಿತ್ರ 3: ಸಿಲಿಕಾನ್ ನೈಟ್ರೈಡ್‌ನ ಪುಡಿ

ಅಸ್ತಿತ್ವದಲ್ಲಿರುವ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳಲ್ಲಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಗಡಸುತನ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ಸ್ಥಿರತೆ, ಕಡಿಮೆ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ನಷ್ಟ, ಉಡುಗೆ ಪ್ರತಿರೋಧ ಮತ್ತು ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆಯಂತಹ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿ Si3n4 ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಲಾಗಿದೆ. ಪ್ರಸ್ತುತ, ಇದು ಐಜಿಬಿಟಿ ಮಾಡ್ಯೂಲ್ ಪ್ಯಾಕೇಜಿಂಗ್‌ನಲ್ಲಿ ಒಲವು ತೋರುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಕ್ರಮೇಣ AL2O3 ಮತ್ತು ALN ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರಗಳನ್ನು ಬದಲಾಯಿಸುತ್ತದೆ.

4. ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಎಸ್‌ಐಸಿ)

ಸಿಂಗಲ್ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಎಸ್‌ಐಸಿಯನ್ನು ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಅರೆವಾಹಕ ವಸ್ತು ಎಂದು ಕರೆಯಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದು ದೊಡ್ಡ ಬ್ಯಾಂಡ್ ಅಂತರ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸ್ಥಗಿತ ವೋಲ್ಟೇಜ್, ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ಸ್ಯಾಚುರೇಶನ್ ವೇಗದ ಅನುಕೂಲಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.

ಅದರ ಪ್ರತಿರೋಧವನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸಲು SiC ಗೆ ​​ಅಲ್ಪ ಪ್ರಮಾಣದ BEO ಮತ್ತು B2O3 ಅನ್ನು ಸೇರಿಸುವ ಮೂಲಕ, ತದನಂತರ 1900 ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಅನುಗುಣವಾದ ಸಿಂಟರ್ರಿಂಗ್ ಸೇರ್ಪಡೆಗಳನ್ನು ಸೇರಿಸುವ ಮೂಲಕ ಬಿಸಿ ಒತ್ತುವ ಸಿಂಟರ್ರಿಂಗ್ ಬಳಸಿ, ನೀವು 98% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚು Sic ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ನ ಸಾಂದ್ರತೆಯನ್ನು ತಯಾರಿಸಬಹುದು. ವಿಭಿನ್ನ ಸಿಂಟರ್ರಿಂಗ್ ವಿಧಾನಗಳು ಮತ್ತು ಸೇರ್ಪಡೆಗಳಿಂದ ತಯಾರಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ವಿಭಿನ್ನ ಶುದ್ಧತೆಯೊಂದಿಗೆ ಎಸ್‌ಐಸಿ ಪಿಂಗಾಣಿಗಳ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ 100 ~ 490W/(m · k) ಆಗಿದೆ. ಎಸ್‌ಐಸಿ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ನ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸ್ಥಿರವು ತುಂಬಾ ದೊಡ್ಡದಾಗಿದೆ, ಇದು ಕಡಿಮೆ-ಆವರ್ತನದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಮಾತ್ರ ಸೂಕ್ತವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನದ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳಿಗೆ ಇದು ಸೂಕ್ತವಲ್ಲ.

5. ಬೆರಿಲಿಯಾ (ಬಿಯೋ)

ಬಿಯೋ ವರ್ಟ್‌ಜೈಟ್ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕೋಶವು ಘನ ಸ್ಫಟಿಕ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯಾಗಿದೆ. ಇದರ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ತುಂಬಾ ಹೆಚ್ಚಾಗಿದೆ, 99% BEO ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್‌ನ ಬಿಯೋ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ, ಕೋಣೆಯ ಉಷ್ಣಾಂಶದಲ್ಲಿ, ಅದರ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ) 310W/(M · K) ಅನ್ನು ತಲುಪಬಹುದು, ಅದೇ ಶುದ್ಧತೆಯ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯು ಅದೇ ಶುದ್ಧತೆಯ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯ ಅಲ್ 2 ಒ 3 ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್. ಹೆಚ್ಚಿನ ಶಾಖ ವರ್ಗಾವಣೆ ಸಾಮರ್ಥ್ಯವನ್ನು ಮಾತ್ರವಲ್ಲ, ಕಡಿಮೆ ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ಸ್ಥಿರ ಮತ್ತು ಡೈಎಲೆಕ್ಟ್ರಿಕ್ ನಷ್ಟ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿರೋಧನ ಮತ್ತು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಸಹ ಹೊಂದಿದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶಕ್ತಿಯ ಸಾಧನಗಳು ಮತ್ತು ಸರ್ಕ್ಯೂಟ್‌ಗಳ ಅನ್ವಯದಲ್ಲಿ BEO ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಆದ್ಯತೆಯ ವಸ್ತುವಾಗಿದೆ.

ಚಿತ್ರ 5: ಬೆರಿಲಿಯಾದ ಸ್ಫಟಿಕ ರಚನೆ

BEO ಯ ಹೆಚ್ಚಿನ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ನಷ್ಟದ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಇತರ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಿಂದ ಇಲ್ಲಿಯವರೆಗೆ ಸಾಟಿಯಿಲ್ಲ, ಆದರೆ BEO ಬಹಳ ಸ್ಪಷ್ಟವಾದ ನ್ಯೂನತೆಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ, ಮತ್ತು ಅದರ ಪುಡಿ ಹೆಚ್ಚು ವಿಷಕಾರಿಯಾಗಿದೆ.

ಪ್ರಸ್ತುತ, ಚೀನಾದಲ್ಲಿ ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ ಬಳಸುವ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರ ವಸ್ತುಗಳು ಮುಖ್ಯವಾಗಿ AL2O3, ALN ಮತ್ತು SI3N4. ಎಲ್‌ಟಿಸಿಸಿ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನವು ತಯಾರಿಸಿದ ಸೆರಾಮಿಕ್ ತಲಾಧಾರವು ಮೂರು ಆಯಾಮದ ರಚನೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರತಿರೋಧಕಗಳು, ಕೆಪಾಸಿಟರ್‌ಗಳು ಮತ್ತು ಇಂಡಕ್ಟರ್‌ಗಳಂತಹ ನಿಷ್ಕ್ರಿಯ ಅಂಶಗಳನ್ನು ಸಂಯೋಜಿಸಬಹುದು. ಪ್ರಾಥಮಿಕವಾಗಿ ಸಕ್ರಿಯ ಸಾಧನಗಳಾದ ಅರೆವಾಹಕಗಳ ಏಕೀಕರಣಕ್ಕೆ ವ್ಯತಿರಿಕ್ತವಾಗಿ, ಎಲ್‌ಟಿಸಿಸಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ 3D ಇಂಟರ್ ಕನೆಕ್ಟ್ ವೈರಿಂಗ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.